MRT

Produkt Beschreibung

Der Mess-Rundtisch MRT überzeugt durch seine exakte und wiederholbare Positionierungsmöglichkeit, sowie den Gebrauch in einer Vakuumkammer.

Der Tisch kann für vielfältige Anwendungen eingesetzt werden. Ob zum Aufbringen von Beschichtungen, prüfen oder vermessen von Wafern oder anderen Bauteilen die eine hoch genaue Anforderung haben.

Technische Beschreibung

• Abmessung 400 x 400 mm
• Rundlaufgenauigkeit bis <= 0,02 µm
• Planlaufgenauigkeit bis <= 0,02 µm
• Belastbarkeit axial* bis 200 N
• Belastbarkeit radial bis 170 N
• Taumel 1,8 rad